Wafer tuag qauv

Cov wafer caws pliav yog tsim tshwj xeeb uas tsim tau zoo heev silicon wafers, uas muaj cov khoom zoo heev thiab muaj kev tiv thaiv tawm tsam siab thiab tawg. Qhov nplaim ntawm lub wafer tuag yog heev tus, thiab txawv cov khoom yog tsim raws li tus loj tsim rau ntau zaus.

Cov wafer cov kab muaj wafer uas tso cai rau lub thoob lub qhov ncauj kom muaj kev nyab xeeb thiab txhim khu ntxiv kom tiv thaiv tau tus caws pliav ntawm tus qauv ntawm cov wafer ntim txheej thaum lub sijhawm clamping lub wafer. Wafer cassette muaj xws li lub cev thiab lub taub hau dav dav txuas nrog rau lub cev, lub taub hau muaj qhov clamping nto, clamping nto ntawm lub taub hau muaj ib lub cev roj hmab khawm; thiab ib sab ntawm cov roj hmab lub cev tiv tauj cov yas dhos yog kos rau lub khob phom sij. Lub zog ntawm cov rauj ntawm lub wafer yuav nce tsis tau thov lub clamping force ntawm tib neeg txhais tes. Lub khob ntawm lub taub hau ntawm lub tho txawv taub hau tuaj yeem ua rau lub qhov nqaij npuav ntawm lub taub hau ntawm lub hau khwb tob hau, yog li ntawd qhov kev puas tsuaj ntawm txheej av npoo ntawm wafer tuaj yeem tiv thaiv rau ntau dua thaum lub rhiav tuav cov wafer ntau xyuam xim thiab nti tawm tau zoo.